市场背景

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，被广泛应用于微电子、半导体、太阳能光伏等行业。因其纯度高、无污染，对设备无腐蚀，能实现精细控制，已然成为其他硅源气体无法取代的重要特种气体。其中，纯度在6N以上的硅烷称为电子级硅烷气。

微电子、半导体、太阳能光伏等高科技产业的蓬勃发展，导致对电子级硅烷气的需求不断增加。

为满足日益增长的市场需求，生产企业需要不断提升产品质量和生产效率，同时，由于电子级硅烷气具有特殊的化学性质，对硅烷气的质量检测要求也愈发严格，传统的离线检测方法已难以满足当前的需求。

针对这一需求，是高智能科技推出了电子级硅烷气在线自动化分析解决方案。

在线自动化分析系统能满足电子级硅烷气中H₂、（Ar+O₂）、N₂、CH₄、CO、CO₂、SiH₃Cl、SiH₂Cl₂、SiHCl₃、SiCl₄、H₆Si₂、烃（C₂-C₄）等杂质含量的在线测定。

该方案主要由防爆分析小屋、在线气相色谱分析系统、预处理系统、硅烷金属杂质取样制备系统、在线智慧中台系统等组成，实现对电子级硅烷气的在线、连续、安全、高精度分析。通过这一系统，样品自动检测分析，数据通过智慧中台自动生成分析报告，并同步至LIMS或DCS系统，为电子级硅烷气的质量管控提供可靠的数据支撑。